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功能性材料
功能性材料
半导体制造过程中的关键辅助材料,具有隔离、绝缘、抗腐蚀、抗辐射等特性
核心优势
优异的隔离性能
可靠的绝缘保护
出色的抗腐蚀能力
有效的抗辐射特性
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技术参数
纯度
99.99%
pH 值
7.0-8.0
金属离子
<5ppb
颗粒物
<50 个/mL
储存条件
室温避光保存
保质期
12 个月
应用场景
晶圆清洗
光刻工艺
薄膜沉积
蚀刻工艺
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