功能性材料
功能性材料

功能性材料

半导体制造过程中的关键辅助材料,具有隔离、绝缘、抗腐蚀、抗辐射等特性

核心优势

  • 优异的隔离性能
  • 可靠的绝缘保护
  • 出色的抗腐蚀能力
  • 有效的抗辐射特性

技术参数

纯度99.99%
pH 值7.0-8.0
金属离子<5ppb
颗粒物<50 个/mL
储存条件室温避光保存
保质期12 个月

应用场景

晶圆清洗

光刻工艺

薄膜沉积

蚀刻工艺

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